1. 물품 설명
ㅇ 물품개요
- (개요) 반도체 기판 위에 박막을 만드는 CVD 공정*에서 진공펌프와 챔버 사이에 위치하여, 챔버 내의 가스 배기시 관로를 열고 닫음으로써 배기압을 조절하는 ‘스로틀 밸브(throttle valve)’와 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지하기 위한 컨트롤러(controller)가 일체**로 되어 있음
* 반도체 웨이퍼 표면에 마이크로 단위의 전도성 박막을 증착하는 공정
** 해당 제조사(제니어스) 홈페이지에 “GT-800 Controller(Intgrated type)” 소개되어 있음. 밸브와 압력 조절기를 일체형으로 만듬으로써 공간 활용도를 높임
- (작동원리) 센서(미제시)에서 관로의 압력을 실시간 측정하여 본건 물품으로 전송하면, 본건 물품은 전송한 현재 값과 설정된 기준값을 비교하여, 기준값이 현재보다 크면 밸브를 닫고, 작으면 밸브를 열어 챔버 내부의 압력을 자동으로 일정하게 조절하게 됨
- (용도) 챔버 내부는 증착과정 중 화학반응이나 플라즈마에 의해 압력이 수시로 변화하게 되는데, 챔버 내부의 압력값 유지는 공정에 직접적으로 영향을 주기 때문에 배관 중간에 밸브와 컨트롤러를 달아 관로의 압력을 일정하게 지속적으로 유지시켜 줌
ㅇ 주변기기와의 연관도
- 반도체 CVD 증착 공정에서 진공펌프와 챔버 사이에 위치
※ CVD(박막증착공정)은 고체의 물질을 기상상태에서 100nm 이하의 박막(film)을 코팅하는 것으로, 챔버 외에 로터리 펌프와 RF 발생기, 매칭네트워크 유닛, 제어반(전체), MFC(가스유량조절기), 자동압력조절기, 스로틀 밸브 등으로 구성되어 있음
2. 결정 사유
ㅇ 관세율표 제90류 주 제2호 가목에서 “부분품과 부속품이 제84류？제85류？제90류？91류 중 어느 호에 속하는 물품의 경우 각각 해당 호로 분류한다.”고 규정하고 있으므로, 반도체 기기에 전용되는 부품이라 하더라도 특정 호에 해당하는지 여부를 우선 검토해야 함
ㅇ 관세율표 제9032호에는 ‘자동조절용이나 자동제어용 기기’가 분류되며, 제9032.20호에 ‘매노우스타트’가 세분류됨
- 같은 호 해설서에 이 호에는 ‘액체나 기체의 유량·깊이·압력이나 그 밖의 변량의 자동 제어용 기기’가 포함한다고 하면서 “이들 요소의 실제 값을 지속적으로 주기적으로 측정하여 장해에 대해 안정적인 희망치로 만들고 유지하도록 설계되어 있다.” (중략)
- “액체나 기체용의 자동제어용 기기는 완전한 자동 제어용 기기의 일부를 형성하고 있으며, 주로 다음의 장치로 구성한다.”
(A) 탱크의 압력이나 깊이, 실내 온도 등 조절해야 할 변량(variable)을 측정하는 기기
(B) 희망치와 측정치를 비교하여 (C)의 장치를 작동시키는 제어 장치.
(C) 기동 장치？정지 장치？조작 장치(operating device)
- 또한, 이 그룹에는 “(A) 압력제어기(pressure controller)나 조정기(regulator) : 이것은 기체 정류량장치(manostats)로도 불리며, 주로 압력 감응기？지시된 압력과 조정해야 될 압력을 비교하는 조절장치？제어회로를 조작시키는 전기접점이나 작은 밸브로 구성되어 있다. (중략) 이러한 압력 조정기는 제8481호의 감압밸브와 다른 것이다[때때로 “압력 조정기(pressure regulator)”로 불린다].”고 설명하고 있음
- 본건 물품에는 변화량을 측정하는 센서 등이 없으나, (Ⅱ) 전기적 양(量)의 자동조절기와 비전기적량의 자동조절기에 대한 해설 부분에서, 불완전(incomplete) 자동조절기기도 이 호로 분류한다고 설명하고 있으므로, 챔버 내부의 변화량을 실시간으로 받아 지정된 희망값과 비교하여 챔버 내부의 압력을 자동으로 제어하는 기능을 수행하므로 제9032호의 범주에 분류함이 타당하다고 판단됨
ㅇ 본건 물품을 제9032.20호의 ‘매노우스타트(Manostats)’로 볼 수 있는지 보면,
- 제9032호의 해설서에 (A)압력제어기(pressure controller)나 조정기(regulator)는 모터 펌프나 압력 탱크에 부착된 콤프레서(compressor)를 제어하기 위해 사용된다고 설명하고 있고, 문헌상에도 “인클로저(enclosure) 내부의 일정한 압력을 자동으로 유지하는 장치(출처: Merriam Webster, 브리태니커 백과사전 계열)”로 ‘매노우스타트’를 정의하고 있는 점 등을 고려시,
- 인클로저 형태의 챔버 내부 압력을 일정하게 자동으로 유지하기 위한 본건 물품은 제9032.20호의 ‘매노우스타트’ 범주로 보는 것이 타당함
ㅇ 따라서, 본건 물품은 매노우스타트(manostat)로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9032.20-0000호에 분류함
3. 물품 이미지
 
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